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沉积类金刚石薄膜的镀膜机

2000年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
一种沉积类金刚石薄膜的镀膜机，包括臂上带有两个透光窗口的真空室，真空室内置有靶材和待沉积薄膜基底。置于真空室外有用激光器作为光源发射光束经过分束镜分成两束光，一束为消融沉积光束经第一聚焦透镜透过第一透光窗口会聚到真空室内的靶材上。获得的薄膜质量优良，均匀而牢固。...
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