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高效高分辨软X射线透射光栅谱仪

2000年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
一种高效高分辨软X射线透射光栅谱仪。含有在真空室内光具座上沿着光路前进的方向，由真空室的前法兰至后法兰依次置放前置反射镜组件狭缝组件，光阑组件，聚焦反射镜组件，透射光栅组件和暗盒组件。谱仪具有高集光效率，高光谱分辨率，还具有平直的光谱焦面，而且由于结构合理对光栅元件要求不苛刻，因此造价低，用途广泛。...
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