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光纤共焦扫描显微镜

2000年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
一种光纤共焦扫描显微镜，包括照明光束输入部分A，光纤扫描部分B，与光纤扫描部分B交错放置的定位部分C，探测采样部分D和控制数据采集处理部分E。具有两种显微镜的功能，既有显微扫描层析成像的功能，又有一次成像的功能，既是对测定目标进行自定位的功能。适用于纳米深度，亚微米宽度的三维结构检测。...
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