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非硅MEMS技术及其应用研究

2007年

应用技术

中期阶段

成果简介

　　项目组对准LiGA、三维非硅复杂结构及活动结构等非硅MEMS加工技术开展研究工作，形成了成套工艺，并在此基础上，开展了非硅MEMS器件与系统的研究，成功研制出了MEMS密码锁、MEMS惯性开关、MEMS陀螺、MEMS光开关、MEMS继电器等。本项目研究的技术在光通讯、航空航天、生物医疗和国防军事等领域具有广阔的应用前景。...

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