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微电子机械（MEMS）的设计与新器件研究

2007年

应用技术

中期阶段

成果简介

研究内容：
1．部件库的形式化描述和完善
部件库是一种面向对象的、动态的部件存储库。部件库中的基本单元用面向对象的方法描述，包括：工艺版图描述类，三维形状描述类和运动规律类；
2．虚拟工艺专家系统中知识库的积累和进一步规范化
设计了基于Voxel的通用MEMS工艺仿真方法，该方法为基于物理模型的工艺仿真和基于专家知识的工...

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