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激光诱导铌酸锂∕金刚石膜SAW器件的研究

2006年

应用技术

初期阶段

成果简介

　　项目利用金刚石膜独特的优异性能研制高频金刚石薄膜声表面波滤波器样件，对金刚石、铌酸锂各层薄膜的制备和性能进行了研究，在此基础上成功设计了集成了铌酸锂／IDT／金刚石／硅结构的SAW滤波器，其中心频率可达2.5GHz，相对传统的材料LiNbO_3晶体的SAW表面波滤波器中心频率大大提高。
　　本研究的铌酸锂／IDT／金刚石的多层膜结构声表面波滤波器中心频率相对传统的材料LiNbO_3...

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