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高性能无线无源声表面波（SAW）传感器研究

2006年

应用技术

初期阶段

成果简介

　　本项目提供适用于高频SAW无源传感器的金刚石膜/IDT/压电材料薄膜基片优化结构方案，构造了SAW无源无线传感虚拟仪器系统；提供SAW滤波器样件数件（最宽指宽d=1.7um，中心频率达到1.6GHz～2.5GHz）；主要创新点：适用于SAW器件的金刚石膜（膜厚300um～400um）的制备。本项目采用金刚石声表面波传感器，可大幅度实现高频等特性；提出薄膜制备中膜厚无损检测方法。
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