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微机械结构数字图像检测及分析系统

2003年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
“微机械结构数字图像检测与分析系统”是为解决长期以来阻碍我国精密机电产品测量效率低，以及制约微机械与微细加工技术发展的微机械结构检测难度大等问题而提出的，为非接触式无损检测提供软件支持，以期提供目前国家急需的机电一体化及超精密检测分析产品。
本项目发挥光电图像测量无接触、高精度、适用范围广的特点，结合微机械的特点，以微米和亚微米精度为目标，进行微机械结构的集成化图像测量...
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