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ECR深亚微米刻蚀技术

2003年

应用技术

中期阶段

成果简介

本项目研究基于电子回旋共振高密度等离子体刻蚀技术，设计并成功地建立了ECR深亚微米刻蚀系统，在此基础上进行了深亚微米图形刻蚀技术及工艺研究。其主要成果包括：
1、采用微波通过同轴开口电介质空腔产生表面波，利用新型高磁能积Nd-Fe-B稀土永磁磁钢合理布局形成的高强磁场，通过共振磁场区域内电子回旋共振效应，产生大面积、均匀、高密度等离子体。
2、研制建...

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