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OEL-Ⅱ型高真空有机电致发光膜多源沉积与封装系统

1999年

应用技术

成果简介

该系统是为完成对OEL工艺技术课题研究任务提供硬件技术条件的科研装备，也是未来开发具有世界性产业规模OEL平面显示器的生产型装备。该系统以第一代设备为基础，通过进一步提高技术性能，确保OEL器件各层薄膜的成膜质量，实现真空原位封装功能。经测试，该设备具有以下特点及先进性：可实现10^(-8)Torr超高真空本底；可在原位真空条件下完成对基片的传输、交接、更换模板和对器件的封装；靶台可在超高...

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