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大尺寸外延用蓝宝石衬底晶体产业化生产关键技术

2003年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该课题的目标是重点突破氮化镓(GaN)用大尺寸(>Φ2″)蓝宝石衬底材料制备技术(Epi-ready)和产业化关键技术,推出具有国际市场竞争力的蓝宝石衬底材料系列产品,建立具有自主知识产权的蓝宝石晶体材料研究、开发和产业化基地。
由于蓝宝石晶体的熔点高达2050℃,生长困难,世界上只有极少数国家能生长出满足衬底质量和尺寸(>Φ2″)要求的晶体。产业化的主要技术是中频感应...
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