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头盔用温湿度一体化传感器

2003年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该项目为区域化数字部队以及医药、卫生、工业、农业等各部门了解及控制当前环境提供了关键的技术基础。
本项目分别采用铂金属材料和聚酰亚胺作为温度和湿度敏感材料，并分别采用磁控溅射工艺和旋涂法制作出温度传感器和湿度传感器芯片，研究了成膜工艺对传感器性能的影响，并设计了温湿度一体化传感器芯片结构，在此基础上，对一体化传感器的变送电路进行了研究，最后研制出了温湿度一体化传感器。 ...
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