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金刚石膜紫外光电探测器

2003年

应用技术

成果简介

该产品是在金刚石薄膜上采用平面半导体工艺，研制具有金属-半导体-金属(MSM)结构的紫外光电探测器，用于100-400nm紫外波段光信号的探测。二、技术特点金刚石具有禁带宽度宽(5.3ev)、响应波段短、耐高温、抗腐蚀等优点，是同类宽带材料(GaN基材料、SiC、BN等)中光响应波段最短的材料，光响应峰值约为200nm,400-800nm的可见光区范围均为盲区，大大有利于紫外光的探测。金刚石薄膜的...

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