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磁控溅射CNx超硬膜的应用

2003年 应用技术
  • 成果简介
CNx薄膜因其具有耐磨、耐腐蚀、摩擦系数小、化学性质稳定等优点可望作为计算机硬盘、轴承、齿轮等的保护涂层而大大延长这些部件的寿命并增加其可靠性；CNx由于其优越的力学性质而可望用于制作钻头、切削工具等；CNx还可用于制作场发射等器件。...
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