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MEMS装配关键技术及设备

2004年

应用技术

成果简介

MEMS精密作业装备是MEMS研究与开发的重要基础与手段。该课题针对MEMS器件的组装(微装配、封装、微连接等)作业，开展宏微精密定位、作业工具、显微视觉等关键技术的研究和应用，并将若干单元技术集成，选择高温压力微传感器制造为应用对象，研制出高温高压微传感器封装关键设备，装配精度优于10μm，装配时间为150-170s，一次批量可达36只，提高了传感器封装的自动化水平，为高温压力微传感器的产业化奠...

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