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自检测压力-温度多功能传感器

2004年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
该传感器是在集成压力-温度复合传感器的基础上实现传感器的自检测功能，使得传感器不但一芯多用，具有温度敏感、压力敏感多参数测量，而且一芯多能，集多参数测量、自检测等功能于一体，为固态压力传感器的多功能化、集成化注入了新的技术活力，推进了传感器向智能化方面的发展。研制0.6MPa自检测压力-温度多功能传感器与6MPa相变自检测压力传感器均借助MEMS技术优势将多个功能单元集成在一个器件内。因此，传感器...
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