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化学气相沉积(CVD)金刚石厚膜材料及其制品

2005年

应用技术

成果简介

一、项目简介：化学气相沉积(CVD)金刚石膜及其产品为涉及国家综合国力的高新技术产品。八十年代中期首先从日本、美国开始，进而在全世界掀起了CVD金刚石研究热潮，使金刚石的应用进入了一个新纪元，国外专家评论是"90年代最热门的材料"。我国1987年"863"高科技发展计划新材料领域第一批项目即为CVD金刚石膜。经过十多年的研究开发，突破种种技术难关，近几年已进入实用阶段，正在产业化。CVD金刚石技术...

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