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KD-1抗蚀钝化剂中试技术

1999年 应用技术
  • 成果简介
简要技术说明及主要技术性能指标：1.简要技术说明：KD-1抗蚀钝化剂是以烷基咪唑为主要成分的新材料，可快速在铜表面形成致密皮膜，是一种具有特殊抗蚀功能的电子化工品。烷基咪唑不仅在制备路线及工艺上有所创新，同时也打破了国外对此新材料的垄断。与先进的工业化国家比较，德国采用高压管式反应器及高温高真空精馏，产品产率达74%；日本采用高压釜进行反应，粗产品产率70.6%。KD-1抗蚀钝化剂生产技术避免了要...
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