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多自由度压电式微位移机电系统的研究

2001年 应用技术
  • 成果简介
随着微电子技术的发展，特别是纳米科学技术的兴起，大大推动了微型机械电子系统的开发研究，多自由度压电式微位移机电系统有着广阔地应用前景。该项目提出一种新的多自由度微位移机电系统，在微位移机电系统的机理、设计理论、控制方法等方面提出新的见解、新的方法。同时，将研制出一种能作微位移的多自由度微型机电系统。该系统能产生受控的微米级到毫米级的微移动或相应数量级的角位移。...
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