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JT-S1500磁控镀膜设备

2001年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
JT-S1500磁控镀膜设备是我公司开发的新型多功能镀膜设备。它瞄准了现有磁控镀膜设备所存在的工件效率不高，加工适应范围不广等问题，经充分考虑而成，设备设计起点高，结构先进、合理，设计了一套可靠的大功率磁控靶与电阻蒸发相结合的蒸镀装置。电控系统采用先进的可编程控制器，配以优质的电器元件、执行元件，确保各控制动作灵敏、可靠。设备总体布局紧凑、真空系统选配合理、抽速大、膜层均匀、附着力强、工作...
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