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全自动推板式半导体电容器瓷片气氛烧结组合炉

2001年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该课题研制的"全自动推板式半导体电容器瓷片气氛烧结组合炉"，它是半导体瓷片生产的关键设备。它由还原气氛炉(A炉)和氧化炉(B炉)通过置换室，将二条隧道炉有机地组合，构成"组合炉"。用以完成半导体瓷片生产过程中进行排胶、烧成、还原、再氧化等关键工序。整个组合炉，除了上述两条隧道炉炉体和前后二套置换室外，传动系统采用二套液压站进行液压传动。控制系统由电炉控制柜及PC机，对生产全过程进行自动控制。...
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