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ZnO薄膜的MOCVD生长研究

2004年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
1、任务来源
“ZnO薄膜的MOCVD生长研究”为吉林省科学技术委员会1999年应用基础课题。其项目编号为吉科合字19990518-1号。
2、应用领域和技术原理
ZnO是具有光电、压电特性的宽直接带隙的半导体材料。它可以用于超声换能器、偏转器、频谱分析器高速光开关及微机械;高频滤波器;紫外探测器、蓝光和紫光发光管或激光器...
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