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激光器纳米测尺

2005年 应用技术
  • 成果简介
基于腔镜移动中两偏振光相互竞争原理的位移传感氦氖激光器系统。与现有传统的位移传感器相比,该位移传感器有如下特点:①激光干涉仪利用干涉现象,以波长作为位移测量的单位基准,有可溯源性;②有很多种位移传感器,如电容位移传感器、电涡流位移传感器、电感位移传感器,都需要校准,先给出电压-位移的关系,然后才能测量,由测出的电压再算出位移。而该推荐项目不需校准,直读位移;③测量范围:已达8mm,分辨率为八分之一...
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