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实用化集成电路计算机辅助制造系统(IC-CAM)

2005年 应用技术
  • 成果简介
集成电路计算机辅助制造系统(IC-CAM)是现代化IC生产中必不可少的管理手段。清华大学微电子所与国内多家IC生产厂合作,承担了国家重点攻关项目,1990年研制出中国自主设计IC-CAM系统,首次在中国IC行业中引入了CAM技术,填补了国内空白。1991年获国家重大科技成果奖。被列为国家科技攻关重大成果效益显著的跟踪项目,1994年获得电子部科技进步二等奖。在“八五”、“九五”期间,清华大学继续对...
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