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金属表面精密光刻成像技术

2005年 应用技术
  • 成果简介
金属表面精密光刻成像材料是采用光致成像阻蚀方法，刻制精细金属图形的新型光功能材料。它具有高灵敏度、高分辨率、高附着力和抗化学腐蚀性强，同时又具有可碱水显影加工、污染少、操作简便、适用范围广等特点。在金属表面进行文字、图像以及各种精细花纹的制作，通常都需要使用感光性树脂，把感光树脂涂布在金属表面，然后进行图形曝光，利用曝光前后树脂溶解度的差别，通过显影而获得图像。这种光成像方法，其图像质量如精密度、...
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