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微分析技术

2005年 应用技术
  • 成果简介
微分析技术是八十年化发展起来一门高新技术，它综合采用了电子束、离子束、激光束和X光等近代分析技术，对微电子材料、工艺和器件进行纳米级的微区结构和形貌观察。几亿分之一的微量杂质的分析，它已经成为电子信息产业必不可少的技术支撑。经国家计委的重点支持，设在复旦大学内的国家微分析中心已发展成设备完善、人员配齐全、技术先进、能为中国微电子科研和生产提供全面微分析服务的综合性研究和分析的国家级中心。几年来为近...
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