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数字式激光波面干涉仪

2005年 应用技术
  • 成果简介
该仪器采用新颖的数学移相干涉法及全新的结构设计，可精确测量凹球面镜的面形误差和曲率半径。配备辅助光学部件后，还可测量凸球面、平面、非球面的面形误差以及光学系统的波像差等。该仪器配置有计算机控制系统和CCD摄像系统，可实时进行波前检测和像质评价并能给出高精度的定量检测结果。该仪器体积小，使用操作方便，具有较强的抗干扰能力可在一般实验室或车间条件下使用，一切可用刀口仪检测的场合均可使用该仪器替代。系统...
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