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上牺牲层加工方法

2001年 应用技术
  • 成果简介
该发明是一种上牺牲层加工方法。它以铜为支撑体，镍为结构的夹钳器件。其方法如下：在由HGA获得的聚甲基丙烯酸甲酯、钛片、电铸镍结构上，旋转涂紫外胶，在90℃下烘干，作为牺牲层。在紫外光刻机上套刻对准、曝光、显影得到胶图形，该图形作为牺牲层结构；溅射电镀基，电镀加厚，得到金属支撑体；去除钛片，聚甲基丙烯酸甲酯，牺牲层，即得到带有活动部分的夹钳器件。该发明的优点是工艺简单、实用。...
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