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研制国产硅晶体间隙氧含量标准物质

2003年

应用技术

初期阶段

成果简介

本项目主要研制的是用于傅立叶红外光谱仪测试的硅晶体间隙氧含量标准物质。目前我国国内尚无自己的硅晶体间隙氧含量的标准物质，一直存在硅中氧含量测试数据上下偏差甚大的问题。
该项目研制的氧含量标准物质，是按照美国NIST氧含量标准制备要求和标准测试方法ASTM F1188-93a，结合我国国家测试标准国标标准GB1557-89，并用国际公认的美国NIST研制的用于傅立叶红外光...

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