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新型多弧离子镀膜机的研制

2005年 应用技术
  • 成果简介
新型多弧离子镀膜机广泛用于材料表面处理的关键设备。为了满足国内市场的巨大需求，受南京宝色钛业有限公司委托开设了本项目的研究，主要目的是研制一种新型的多功能镀膜设备，为在大面积材料表面沉积装饰膜及功能膜提供有效的手段。它以大尺寸矩形弧源和可旋转柱状弧源为结构特征，采用新型的组合方式，实现了低成本化。主要技术和经济指标：设计一台具有矩形大靶蒸发源和柱状蒸发源，能在不锈钢上大面积镀制TiN装饰膜的多弧离...
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