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一种可使样品自动旋转的腐蚀装置

2003年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本实用新型提供了一种可自动旋转的腐蚀装置，解决了以往湿化学腐蚀不平整、不均匀的困难。自动旋转腐蚀的特点是：被腐蚀样品的表面或沟槽处能得到充分而均匀的腐蚀效果。
本实用新型最主要是：腐蚀是流动的，样品在腐蚀时是旋转的，依据这个腐蚀过程，能显著地提高样品表面的均匀性和平整性。...
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