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自对准腐蚀制作微结构的方法及其制造的红外探测器

2003年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　一种微机械热电堆红外探测器的制造方法，最为关键的工艺是采用自对准腐蚀技术，制造出周围用空气层减小热耗散、增加热阻的栅状热偶对悬臂结构，不仅简化了微机械热电堆红外探测器的制造工艺，提高了热电转换效率，而且也使制造出来的探测器具有较高的灵敏度。
　　本发明的目的之一在于提供一种以自对准腐蚀技术为关键技术的制造微机械热电堆红外探测器的方法，摒弃正反两面对准光刻技术，不仅可简化制造工艺，提...
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