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新型力平衡微差压传感器基础研究

2003年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
量程在100Pa以下的高灵敏度压力传感器在环境控制、家用电器等方面有很大的用途。但由于存在微米级应变膜厚度的精确控制问题，制造难度相当大，使得成品率、均匀性、重复性较差，成本居高不下，国内还不能制作这种压力传感器，国际上也没有解决这些问题，是压力传感器中断档的品种。研制出低成本的高灵敏度压力传感器，可以填补市场空白，产生显著的经济效益和社会效益。
通过本项目的研究建立了...
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