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电磁场约束电感耦合等离子体增强气相沉积薄膜系统

2003年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明涉及电磁场约束射频电感耦合等离子体增强物理和化学气相沉积薄膜复合系统的设计、操作模式和应用场合，属于薄膜材料制备设备领域。
　　背景技术 近几十年来，薄膜材料科学取得了令人瞩目的成就，具有优异综合性能和广泛应用前景的新型薄膜材料层出不穷。作为现代材料科学中发展最为迅速的一个分支，它正在科学技术和国民经济建设的各个领域中发挥着愈来愈重要的作用，新型薄膜材料的研究和开发为微电子...
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