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纳米氧化物薄膜的超声纳米快速沉积技术

2003年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
纳米氧化物薄膜薄膜的超声纳米快沉积术利用超声雾化技术在化学反应前将金属盐类的水或有机溶液变为尺寸非常均匀的雾状微米级液滴，通过反应气体载体输送到沉积区。由于雾滴具有大的表面积与体积比，占液滴主要体积部分的溶剂在一定的温度场内快速蒸发，剩下的溶质在空间转化为尺寸和分布都非常均匀的纳米颗粒流，最后在被沉积基底表面与氧气反应而形成厚度和结构都十分均匀，各种性能优异的纳米TCO膜。
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