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优质透明导电薄膜

2003年

应用技术

中期阶段

成果简介

本成果属电子材料领域，涉及电子材料及制备工艺，具体内容是采用超声波雾化喷涂工艺合成高质量透明导电金属氧化物薄膜，传统的制备透明导电薄膜装备技术是真空溅射沉积薄膜和压缩气体喷涂沉积薄膜（APCVD）。该成果的技术特点和创新性如下：
　　① 成果所采用的技术及设备是基于常压的非真空技术，相对上述传统的技术装备简单得多；
　　② 采用超声波雾化技术代替原始APCVD工艺，...

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