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新型MEMS集成技术—高频开关及其功能电路集成研究

2003年

应用技术

初期阶段

成果简介

1、华东师范大学分析和设计了由一组电容式开关和一组电感串、并联形成的相位连续可调，毫米波多位开关阵微机械移相器。应用MEMS关键工艺技术（薄膜生长、光刻、刻蚀等），在国内首次成功地研制出MEMS毫米波压控式相位连续可调移相器。
2、华东师范大学研制的MEMS 毫米波（开关阵列）移相器，用中国科学院上海微系统和信息技术研究所的Cascade12000微波探针和HP87...

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