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SOI(梁膜结合)耐高温压力传感器

2004年

应用技术

成果简介

耐高温微型压力传感器产品，具有精度高、可靠性高等优点，其温度工作范围为-20～250℃，可完成1000MPa以下任意量程范围的压力测量，能承受2000℃瞬时高温冲击，完成了可适用于高温、高压、高频响及瞬时高温冲击等条件下压力测量的高温压力传感器。2003年，该项目顺利通过了863专家组验收，并于2004年，教育部对这一成果组织了科技成果鉴定，认为：该项目属国内首创，其性能指标和总体水平达到国际先进...

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