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高精度陶瓷容栅位移传感器产业化关键技术开发

2004年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
该技术主要应用于高精度长度、角度的测量。主要原理是将付栅栅条由沿X轴方向排列，改变为在X、Y轴方向作交替排列，使相邻栅条沿X轴方向间距为零，同时又使同侧相册条之间的距离增加。既减少了栅条制作的工艺难度，又提高了传感器的测量精度，并将栅条制作在陶瓷、玻璃等无机材料上，提高了传感器的工作可靠性和稳定性。经过两年多的努力，成功解决了在低设备投入、低净化条件下在陶瓷基片上沉积金属的方法与制作精细线...
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