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椭圆仪(AUEL-III自动椭偏仪)

2005年

应用技术

成果简介

一、成果内容简介、关键技术、技术经济指标：1、成果内容简介：自动椭偏仪是一种对薄膜厚度和折射率进行非破坏性快速测量的仪器，是半导体集成电路工艺监控中必要的关键在线检测设备之一。西安交通大学徽电子研究所承担了椭圆仪专题攻关任务。攻关的重点是提高可靠性和实用化程度。仪器的功能和技术指标：(1)单层透明膜折射率和厚度测量。(2)双层透明膜折射率和厚度测量。(3)SIO3膜上多晶硅膜厚度及消光系数测量。(...

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