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10W级高重复率实用型氯化氙准分子激光器

2004年 应用技术
  • 成果简介
强紫外准分子激光器，在激光光谱，激光化学，激光同位素分离，激光半导体超精细加工，激光遥感，激光生物学等众多领域有广泛应用。该器件采用闸流管快速开关和高速横向气体循环流动，气体净化处理和腔片保护措施；达到如下指标：单脉冲263毫焦(最大值274毫焦)，平均功率12.5瓦(最大值18.5瓦)，寿命大于百万次。比国内近期已鉴定的同类器件在单脉冲能量，平均功率，一次充气工作寿命，实用化等方面又有新的明显进...
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