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HT-6装置真空系统调试

2004年

应用技术

成果简介

经过对HT-6装置真空系统的改装，以450升/秒FB立式分子泵取代原来的卧式分子泵，选用2X-8机械泵作为前级，主泵与真空室间采用Φ150双面密封气动胀板伐取代原来的Φ50真空伐，以增大有效抽速，割去不必要抽气管道，反复进行部件和总体检漏、补漏，认真清洗、烘烤等有效手段，最后获得本底真空度为2×10^(-8)乇，总的出气率为：1×10^(-7)乇升/秒，从而满足了物理实验的要求。...

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