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洁净环境监测系统

2004年 应用技术
  • 成果简介
项目研究的背景及用途：生产环境中空气、工艺用纯气和液体的洁净度及其他空气参数(温/湿度，风速，压差)对半导体，制药，电子等行业有着至关重要的作用。采用便携式或车载式的空气粒子计数器对洁净厂房的洁净度进行定期的人工巡检存在一些缺点，为了克服人工检测的缺点，该项目研制了环境实时监测系统对洁净厂房进行监测。技术原理及工艺流程：环境监测系统有多空气计数器集中监测系统、多管式顺序采样监测系统和多环境参数混合...
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