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微位移实时干涉测量仪

2004年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
一种微位移实时干涉测量仪，其特点是它包括：带有第一直流电源的光源，在该光源发射光束前进方向上同光轴地依次置有第一透镜、偏振分束器、分束器、参考平板和被测物体；在该分束器的反射光束f2方向置有接收元件，其输出送单片机，再接显示器；在该偏振分束器的反射光束f1前进的方向上依次置有第二透镜和调制光源；该调制光源带有驱动器，该驱动器连接第二直流电源和移相器，该移相器另一端接正弦信号发生器，该正弦信...
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