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纳米硅管制备技术

2003年 应用技术
  • 成果简介
该成果采用化学气相沉积法制备纳米硅管。它包括以下步骤：1.制备具有数个纳米尺寸孔径的氧化铝模板；2.用磁控溅射法对氧化铝模板的一个平面镀膜，镀膜材料为三、五族元素或过渡金属元素或金，镀膜厚度为1～10000纳米；3.把镀膜过的氧化铝模板放在石英舟里，再把石英舟放入一个真空和气氛两用石英管式炉内，抽真空，使管式炉真空度为1～100Pa，加热炉管，使氧化铝模板温度为100～1000℃；4.将硅烷气体、...
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