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真空室内在线更换基片的装置

2003年 应用技术
  • 成果简介
该专利是一种可在真空室内实现在线更换基片的装置。该装置的转轴由空心转轴和同心置放在空心转轴内的实心转轴构成。当空心转轴与实心转轴由两顶丝固定在一起时，带动基片夹具与挡板一起转动；当两顶丝松开时，空心转轴与实心转轴分别带动基片夹具和挡板转动，改变基片夹具与挡板的相对位置，从而实现在不破坏真空室内的真空度情况下，在线更换待镀膜的基片。该装置有两种结构供选择。与在先技术相比，该装置具有结构简单，在线更换...
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