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浮法抛光液膜厚度测量装置

2003年 应用技术
  • 成果简介
该专利是一种浮法抛光液膜厚度测量装置，属于光学冷加工技术领域。该专利要解决的技术问题是：光杠杆能在抛光液膜中浮起以俯仰角度变化的测量。该专利提出的技术解决方案是：采用光滑转轴支撑光杠杆结构，光杠杆浮在液膜表面的一端带有过渡圆滑的弯脚，另一端带有反射镜，用平行光管观察光杠杆的俯仰角度变化。该测量装置是由抛光系统和测量系统组成的，测量系统安装在抛光系统中的被加工件的后面。该装置可以实时动态测量液膜厚度...
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