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测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪

2003年 应用技术
  • 成果简介
该专利是一种测量透明平板表面形貌的相位共轭干涉仪。该相位共轭干涉仪包括产生干涉光束的物光和参考光。物光由激光光源发射的激光束，经第三透镜和第二透镜的平行光束射到待测透明平板上，而后反射回的光束经第二透镜和第一分束器的反射，再透过第四透镜、第二分束器、第三分束器、第五透镜至光折变晶体，最后由光折变晶体返回再经第五透镜至第三分束器。参考光由第二分束器反射的光束，经第一反射镜、第七透镜、第六透镜和第二反...
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