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纳米金刚石粉预处理的大面积金刚石膜材料生长工艺

2003年 应用技术
  • 成果简介
该制备工艺包括预处理和长膜两个过程。预处理是将衬底在纳米级金刚石粉乙醇溶液中浸渍，再在高温氢气氛等离子体中退火两小时形成均匀高密度仔晶；长膜是以氢气和甲烷为原料气体，在化学气相沉积装置中，在5～15MPa气压和600～950℃衬底温度条件生长金刚石膜。该工艺能生长均匀大面积金刚石膜，具有高附着力、低界面态密度、高可靠性、高品质与低成本等优良特性。...
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