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金刚石厚膜表面刻蚀技术

2002年 应用技术
  • 成果简介
该成果采用稀土化合物浆料(如以氧化铈和硝酸镧为原料的浆料)，印刷于金刚石厚膜生长面，再经400-600℃烧结2-5小时，最后用浓硫酸清洗。所用浆料是将原料与溶剂混合研磨再加调和剂配制而成。该技术原料便宜且用量少，刻蚀工艺简单，不需要真空高温等苛刻条件和复杂设备，成本降低，刻蚀效果好，能减小机械抛光时问，浆料丝网印刷可图形化，有利于金刚石厚膜在电子封装领域中的应用。...
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